在紅外探測器的裝配過程中,提高漏氣速率的檢測標準,海寧高容器過濾器通過氦質(zhì)譜檢漏儀對零部件進行漏率檢測,篩選和剔除有隱患的零部件。
加工成形的表面在微觀下,高低不平,實際表面積很大,提高表面光潔度,可以減少出氣量。表面處理是提高表面光潔度的有效途徑,對真空夾層內(nèi)表面進行處理,一般采用電解拋光化學拋光、研磨,以及量子鈍化處理技術(shù)。同時,盡量減少真空夾層內(nèi)采用高放氣材料和封裝工藝,膠粘是巨大的放氣源需要特別關(guān)注。
高溫真空處理是將零部件表面吸附的氣體釋放出來,零部件的高溫真空處理是一種預處理過程。將零部件放在真空箱環(huán)境中,進行預抽一定時間,達到規(guī)定的真空度時,對產(chǎn)品進行加熱烘烤,加熱系統(tǒng)保證產(chǎn)品的溫度均勻,加熱溫度嚴格控制在規(guī)定的溫度,同時還需要增加超溫保護控制,防止在加熱溫度過高造成紅外器件損壞。當杜瓦內(nèi)或系統(tǒng)真空度達到規(guī)定的值后,以及連續(xù)排氣時間達到規(guī)定要求時,進行真空封結(jié)。
安裝吸氣劑可以進一步確保封裝的真空完善性。大多數(shù)金屬材料中含有H2,H2是在冶煉過程中熔入的,在抽真空封口以后,會有H2繼續(xù)釋放出來。對H2有良好吸氣作用的一氧化鈀(PdO),實用的吸氣劑是一種由粉狀PdO與多孔填充劑混合制成的粒狀物質(zhì)。吸氣劑可進行激活處理,使吸氣劑中吸附的氣體釋放并被真空機組抽走,激活的吸氣劑便封結(jié)在真空夾層內(nèi),吸收夾層的出氣和微小漏氣,保持真空夾層高的真空度。吸氣劑激活次數(shù)有限,吸氣速率和吸氣量隨著激活次數(shù)而衰減。